Parylene Beschichtungsanlage Diener electronic P6
Digitalmikroskop Keyence VHX-5000
Rasterelektronenmikroskopie (REM)
- Stereoscan 360 (Fa. Cambridge) mit Lithographie-Zusatz ELPHY-Quantum (Fa. Raith)
- Feldemissionsrasterelektronenmikroskop SUPRA 25 (Fa. Zeiss) mit:
- GEMINI-Optik, InLens-Detektor, 4-Quadranten-Rückstreudetektor, SE-Detektor (Everhart-Thornley)
- Beschleunigungsspannung 0.1 - 30kV, Untersuchung auch von nicht oder nur bedingt leitfähigen Proben bei sehr niedrigen Beschleunigungsspannungen möglich
- Compu-euzentrischem Probentisch zur Anfertigung von Stereobildpaaren durch euzentrisches Verkippen der Probenoberfläche
- Röntgen-Mikroanalyse (EDX)
- Quantax-System (Fa. Bruker)
- stickstofffreier SD (Silicon drift) XFlash-Detektor 3001
- spektrale Auflösung ‹=133 eV (@MnKα, 1000 cps)
- Tisch-Sputteranlage EMITECH SC7640 mit Carbon Coater CA7625
Rasterkraftmikroskopie (AFM)
Nanowizard II (JPK Instruments) mit CellHesion Stage und Kelvin-Probe-Modul
Messsysteme zur elektrochemischen Analyse (DC und AC)
- AUTOLAB mit PGSTAT 20 + FRA-Modul (Fa. ECO)
- IM6e (Zahner Elektrik-GmbH)
- Reference 600 Potentiostat / Galvanostat / ZRA (Gamry Instr.)
Oberflächenrauhigkeitsmessgeräte
- Hommel-Tester T8000
- Alpha-Step 500 (Fa. Tencor)
- 3D Software MeX (Fa. Alicona), zur Rauheitsanalyse anhand von REM-Stereobildpaaren
Ausstattung Reinraumlabor (Reinraumklasse 10 (US Federal Standard 209 E))
- Hochvakuumbeschichtungsanlagen (Bedampfungs- und Sputteranlagen) für Präparationszwecke
- B 30, Fa. HVD
- LA 320S, Fa. von ARDENNE-Anlagentechnik GmbH
- Lackschleuder Delta 10TT (SÜSS MicroTec)
- Partikelmessgerät (Handheld 3016, LIGHTHOUSE)
Kontaktwinkelmessgerät (Fa. DataPhysics)
Plasma-Reiniger miniFlecto-PC-MFC (Fa. plasma technology GmbH)
Metallografische Lichtmikroskopie (Videomikroskop Axio Lab.A1, Fa. Zeiss)