Inhalt

Für die Mikrosysteme hat die Simulation des zeitlichen
Verhaltens räumlich verteilter Systeme, häufig mit gekoppelten Feldern (z. B.
mechanisch-elektrisch) große Bedeutung. Durch die räumlichen Diskretisierung z.B. mit Finiten Elementen erhält man Differenzialgleichungen sehr hoher Dimension, die sich für eine effiziente zeitliche Simulation nicht eignen.

In dieser Veranstaltung wird in Methoden der Ordnungsreduktion eingeführt, mit deren Hilfe sich automatisiert sehr kompakte Modelle gewinnen lassen, die eine schnelle Simulationen bei geringen Abweichungen erlauben. Die Verfahren werden an konkreten Aufgabenstellungen angewendet.

Literatur

T. Bechtold, G. Schrag, L. Feng (eds), System-Level Modeling of MEMS, (Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, ISBN: 3527319034), 2013

Athanasios C. Antoulas: Approximation of Large-Scale Dynamical Systems, SIAM 2005