Mikrosystemtechnik
Ziel: Vermittlung von Kenntnissen über Grundverfahren der Mikrotechnologie, über Ausrüstungen sowie über metallurgische Prozesse bei der Herstellung von Mikrostrukturen Voraussetzungen: Werkstoffe der Elektrotechnik Bauelemente der Elektronik Physik
Inhalt:
- Grundverfahren
- VakuumtechnikPhysikalische(PVD) und chemische (CVD) Beschichtungsverfahren
- Fotolithographie
- Strukturierungsverfahren
- Temperaturbehandlung
- Dotierungsverfahren
- LIGA-Verfahren
- Kontakt- und Leitbahnsysteme
- Halbleiter-Metall-Kontakte
- Metall-Metall-Kontakte
- Dünnfilmwiderstände
- Passivierungssysteme
- Montageverfahren
- Chipbonden
- Drahtbonden
Ziel: Kennenlernen wesentlicher Eigenschaften von Mikrosystemen, hauptsächlich durch das Skalierungsverhalten der Systeme
Inhalt:
- Eigenschaften von Mikrosystemen
Der Übergang von der Makrowelt in die Mikrowelt, Physikalische Ähnlichkeit - Mikromechanische Systeme
Bewegungsgleichungen
Skalierungsverhalten eines Systems von Massepunkten
Skalierung von Kontinua - Elektromagnetische Systeme
Maxwellsche Gleichungen, Ähnlichkeit der Maxwellschen Gleichungen
Skalierung elektrodynamischer Antriebe
Dynamik elektrodynamischer Antriebe - Elektrostatische Systeme
Elektrostatische Kräfte, Skalierung mit konstanter Spannung, Skalierung mit konstanter Feldstärke - Thermische Mikrosysteme
Die Wärmeleitungsgleichung,Thermische Relaxationszeit, Stationäre Wärmeströmungen - Elektronische Systeme
Skalierungsverhalten passiver Bauelemente
Skalierung von Halbleiterbauelementen
Skalierungskonzepte für Halbleiterstrukturen, Skalierung von Kontakt- und Leitbahnsystemen, Prinzipielle Grenzen der Miniaturisierung - Quasi-adiabatische Mikroelektronik
Literatur:
- Gerlach, G., Dötzel,W.: Meindl, J. D. Grundlagen der Mikrosystemtechnik Hanser Verlag 1997, ISBN 3-446-18395-7
- Low Power Microelektronics: Retrospect and Prospect, Proc. Of the IEEE, Vol.83,No.4, April 95
- Harth, W.: Halbleitertechnologie Teubner Verlag, ISBN 3-519-10054-1 v.
- Münch, W.: Einführung in die Halbleitertechnologie Teubner Verlag, ISBN 3-519-06167-8
- Schaumburg, H.: Halbleiter Teubner Verlag, ISBN 3-519-06124-4