Ausstattung Supra25

• GEMINI-Optik, InLens-Detektor, 4-Quadranten-Rückstreudetektor, SE-Detektor (Everhart-Thornley)
• Beschleunigungsspannung 0.1 - 30kV, Untersuchung auch von nicht oder nur bedingt leitfähigen Proben bei sehr niedrigen Beschleunigungsspannungen möglich 
• Compu-euzentrischer Probentisch zur Anfertigung von Stereobildpaaren durch euzentrisches Verkippen der Probenoberfläche

Ausstattung S360

• Lithographie-Zusatz ELPHY-Quantum (Fa. Raith)

Röntgen-Mikroanalyse (EDX)

• Quantax-System (Fa. Bruker)
• stickstofffreier SD (Silicon drift) XFlash-Detektor 3001
• spektrale Auflösung ‹=133 eV (@MnKα, 1000 cps)