Reinraumlabor am IGS

  • Reinraumklasse 10 (US Federal Standard 209 E)
Reinraumlabor mit Beschichtungsanlagen

Beschichtungsanlagen

  • B 30, Fa. HVD (Bedampfungsanlage)
  • LA 320S, Fa. von ARDENNE-Anlagentechnik GmbH (Magnetron-Sputtern)
  • HZS 03, Fa. ZFT Mikroelektronik
Lackschleuder Delta 10TT (SÜSS MicroTec)

Lackschleuder Delta 10TT