Scanning Electron Microscopy

Field Emission Scanning Electron Microscope SUPRA 25, Fa. Zeiss

Ausstattung Supra25

  • GEMINI-Optik, InLens-Detektor, 4-Quadranten-Rückstreudetektor, SE-Detektor (Everhart-Thornley)
  • Beschleunigungsspannung 0.1 - 30kV, Untersuchung auch von nicht oder nur bedingt leitfähigen Proben bei sehr niedrigen Beschleunigungsspannungen möglich 
  • Compu-euzentrischer Probentisch zur Anfertigung von Stereobildpaaren durch euzentrisches Verkippen der Probenoberfläche
S360 Stereoscan (Cambridge)

Equipment S360

  • Nanlithography attachment ELPHY-Quantum (Raith GmbH)
[Translate to English:] EDX (Fa. Röntec/Bruker axs)

Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDX)

  • Quantax-System (Bruker  GmbH)
  • Nitrogen free SD (Silicon drift) XFlash-detector 3001
  • Spectral Resolution ‹=133 eV (@MnKα, 1000 cps)